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Silizium-Halbleitertechnologie

Silizium-Halbleitertechnologie

Silizium-Halbleitertechnologie by Ulrich Hilleringmann

Silizium-Halbleitertechnologie
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Author: Ulrich Hilleringmann
Page Count: 280 pages
Published Date: 01 Sep 1995
Publisher: Vieweg+Teubner Verlag
Publication Country: United States
Language: German
ISBN: 9783519001492
Download Link: Silizium-Halbleitertechnologie
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Das vorliegende Studien skript "Silizium-Halbleitertechnologie" ist aus der Vorlesung "Halbleitertechnologie" entstanden, die erstmalig im Wintersemester 1989/90 von Prof. Dr.-Ing. K. Schumacher an der Universitat Dortmund gehalten wurde. Um die rasante Entwicklung der Prozesstechnik berucksichtigen zu konnen, ist der Inhalt der inzwischen auf zwei Semester ausgedehnten Vorlesung um fortschrittliche Integra tionstechniken erweitert worden. Ziel dieses Buches ist es, den Studenten der Elektrotechnik, Informatik, Physik, aber auch den Schaltungstechnikem und den Ingenieuren in der Prozesstechnik, die Realisierung und den Aufbau integrierter Schal tungen zu veranschaulichen. Es umfasst die Kristallherstellung, die ver schiedenen Prozessschritte der Planartechnik und die Montagetechnik fur integrierte Schaltungen. Erganzend dazu sind grundlegende weiter fuhrende Integrationstechniken berucksichtigt worden, um dem interes sierten Leser die Verfahren der Hochstintegration verstandlich darlegen zu konnen. Die Ubungsaufgaben sollen zur Uberprufung des Verstand nisses dienen und gleichzeitig dazu beitragen, die Grossenordnungen der verwendeten Parameter abschatzen zu konnen. Eigene Erfahrungen aus der CMOS-Technologielinie des Lehrstuhls Bauelemente der Elektrotechnik / Arbeitsgebiet Mikroelektronik der Universitat Dortmund runden den Inhalt des Buches ab. An dieser Stelle mochte ich Herrn Prof. K. Schumacher herzlich fur die gewissen hafte Ausarbeitung der Unterlagen zur Vorlesung "Halbleitertechnolo gie" danken, die als Grundlage fur dieses Buch dienten. Fur die Durch sicht der Druckvorlage danke ich Herrn Dipl.-Ing. John T. Horstmann. Mein Dank gilt auch Herrn Prof. K. Goser fur die Moglichkeit, dieses Buch zu verfassen. Ganz herzlich danke ich meiner Familie fur ihre Unterstutzung wahrend der zeitintensiven Ausarbeitung der Unterl

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